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    專注于直線模組研發生產及自動化行業高性能解決方案

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    • XY軸精密對位平臺

    XY精密對位平臺

    • 一般環境使用
    • 高精密對位平臺,中空設計,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉軸,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;

    • 產品參數

      XY軸行程分別為:200-300mm (可定制)
      重復定位精度:±0.001mm
      絕對定位精度:±0.004mm
      應用行業:晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等
      *絕對定位精度需通過軟件修正。

      Tips:絲桿模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度;最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準;馬達加減速設定為0.2s。

    • 注意:限于文件大小和數量限制,高清產品手冊PDF版及完整的產品3D模型STEP文件,請聯系我司業務人員獲取,給您帶來不便敬請諒解!

    高精密對位平臺,中空設計,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉軸,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;


    XY軸行程分別為:200-300mm (可定制)

    重復定位精度±0.001mm

    絕對定位精度±0.004mm

    應用行業:晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;

    注:絕對定位精度需通過軟件修正。


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